测试系统

半导体低频测试
全面覆盖

通过领先的半导体特性测试仪器产品与EDA产品形成软硬件协同,提供差异化和更高价值的数据驱动的EDA全流程解决方案

参数化测试

半导体参数化测试(Parametric Test)系统主要用于半导体器件的参数测量和监测,是协助芯片制造和设计优化的重要工具。芯片制造厂通过参数化测试评估和优化制造工艺,提高半导体器件性能,确保产品的稳定性和可靠性。对于芯片设计来说,参数化测试可以协助设计师了解和验证半导体器件的参数范围和特性,可以评估各种设计选择的优缺点,并优化电路设计以达到最佳性能。


概伦半导体参数分析仪FS-Pro是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析测试系统,能够快速、准确地完成几乎所有半导体器件的低频特性表征,广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域,极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程。


概伦FS-MEMS是一款集成传感器结构参数测试功能的系统,通过一键操作即可完成动态和静态参数测试。该系统全面覆盖电流电压(IV)、电容电压(CV)、漏电、电阻、谐振频率、Q 值、正交系数、-3dB 带宽等关键电学参数,实现自动测试;同时支持多通道并行测试,可显著提高测试效率,适用于角速度计(陀螺仪)、加速度计、压力传感器、光流量计、红外传感器等基于MEMS传感器特性参数测试

噪声测试

低频噪声测试用于测量器件在低频区域的1/f噪声和RTN噪声性能,是半导体器件制造和芯片设计中一种重要的分析手段,能够帮助芯片制造和设计者提高产品质量和市场竞争力。芯片制造厂可通过低频噪声测试监测和优化制造工艺,提高器件性能和稳定性;芯片设计公司可通过评估和验证器件的噪声特性,优化电路设计以提高电路性能和可靠性。


概伦981X系列低频噪声测试系统是低频噪声测试领域的黄金标准工具,适用于从成熟工艺到28/14/10/5/3nm等各工艺节点的先进工艺研发、IC设计和学术研究中。业界首款商用级交流噪声测试系统9812AC为探索半导体研究新领域提供了更多的可能。


综合量测

半导体自动量测系统是专门用于半导体器件性能评估和参数测量的系统,通常由参数分析仪、噪声测试系统和探针台等硬件设备、测量控制软件以及矩阵开关等自动化机制组成。该系统能够自动执行多种电性测试,包括电流电压(IV)特性、电容电压(CV)特性、脉冲测试、噪声测试以及可靠性测试等,能够提高测试效率、准确性和可靠性,在半导体器件的设计、生产和品质控制中起着至关重要的作用。


概伦晶圆级全自动量测解决方案ATS是基于FS-Pro半导体参数分析仪和自研硬件设备及测量控制软件开发的一套全自动电性量测解决方案。该方案可根据使用需求灵活集成多种软硬件,广泛应用于电流电压(IV)、电容电压(CV)、脉冲式IV、高速时域信号采集、低频噪声测试以及多种可靠性测试。


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