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9812DX

低频噪声测试系统

低频噪声测试 1/f & RTN噪声 高精度宽带测试

9812DX作为单一完整的低频噪声测试系统，支持多种半导体器件类型在各种工作条件下（如200V高压、10pA极低电流等）的高精度噪声测试。通过低频噪声测试，可以帮助芯片制造厂检测和排除工艺制造缺陷，确保芯片质量符合预期，提高芯片稳定性。

  • 晶圆级噪声测试精度和高测试带宽，最低测试噪声的电流精度低至10-27A2/Hz。

  • 典型噪声测试速度提高至一个偏置条件仅需20s、最高测试电压提高到200V。

  • 通过并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。

  • 用于28/14/10/7/5/3nm等各工艺节点的先进工艺研发和高端集成电路设计。

  • 内置功能强大的NoiseProPlus软件，支持1/f噪声、RTN噪声测试和数据分析。






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产品亮点

  • 行业黄金标准

    全球半导体行业
    低频噪声测试“黄金标准”系统

  • 广泛采用

    已被众多行业领先半导体公司所采用的
    标准测试系统

  • 并行测试

    经头部客户验证的
    高精度、高测试吞吐率并行测试能力

  • 宽量程

    晶圆级高精度和测试带宽
    宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

  • 系统架构

    系统体系架构经行业认可并不断完善
    兼具高精度和可靠性

  • 覆盖广泛

    同时覆盖从10Ω到10MΩ的
    高阻抗器件和低阻抗器件测试能力

产品应用

  • 先进工艺质量/工艺
    评估和品质监控

  • 低频噪声特性测试
    和噪声数据分析

  • 半导体器件
    SPICE模型库开发

  • 高端集成电路
    设计和验证

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