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FS800

半导体参数测试系统

参数测试 可靠性测试 快速脉冲测试

FS800器件参数分析仪是概伦电子的新一代半导体器件电学特性分析设备。

  • 采用自主研发的测试硬件架构和数据总线，支持包括高精度SMU在内的多种自研测试模块，功能全面，配置灵活，扩展性强。

  • 在一个FS800系统中几乎可完成所有半导体器件的电性表征，支持电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、低频噪声测试、高速波形发生与釆集测试等能力。

  • 采用灵活的模块化体系结构，在同一机箱内可同时安装高精度SMU和低漏电矩阵开关模块，在单台台式设备内即可实现晶圆级器件电性参数的自动化测试。

  • 直观的18.5英寸触摸屏界面。

  • 内置电性参数测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能，支持脚本化编程平台，可以灵活实现自定义算法和快速扩展。

  • 广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域

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产品亮点

  • 性能强大

    量程宽精度高
    支持高速采样时域信号采集、
    任意线性波形生成

  • 功能完善

    单机可支持高精度
    IV、CV、脉冲IV、高速波形
    和瞬态IV采样等测试应用

  • 可扩展性强

    可支持高达24个SMU
    或132端口矩阵开关
    支持同时安装高精度源表
    和低漏电矩阵开关模块

  • 测试效率高

    单台设备内可完成
    晶圆级电性参数的自动化测试
    支持并行测试

  • 简单易用

    内置labExpress测试软件
    提供丰富的内置测试算法库、
    数据分析工具和灵活的自定义能力

产品应用

  • 工艺制程研发与
    器件参数测试

  • 半导体器件
    可靠性测试

  • 半导体器件
    超短脉冲测试

  • 非易失性
    存储器测试

  • 光电器件和
    微电子机械系统测试

  • 二维材料
    器件测试

  • 金属材料
    测试

  • 新型先进材料
    与器件测试

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