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9813DXC

先进低频噪声测试系统

低频噪声测试 1/f & RTN噪声 高精度宽带测试

9813DXC是一套功能完善的先进低频噪声测试系统，支持多种半导体器件类型在各种工作条件下（如200V高压、10pA极低电流等）的高精度噪声测试。通过低频噪声测试，可以帮助芯片制造厂检测和排除工艺制造缺陷，确保芯片质量符合预期，提高芯片稳定性。

  • 晶圆级噪声测试精度和高测试带宽，最低测试噪声电流精度低至10-27A2/Hz。

  • 覆盖10Ω到10MΩ高阻抗器件和低阻抗器件测试。

  • 支持并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式，大幅提高测试效率和吞吐量。

  • 适用于从成熟工艺到28nm、14nm、10nm、7nm和5nm等先进工艺节点。

  • 内置功能强大的NoiseProPlus软件，支持1/f噪声、RTN噪声测试和数据分析。


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产品亮点

  • 高精度

    最高DC电流精度：10pA
    系统噪声电流精度：<10-27A2/Hz

  • 高速度

    典型噪声测试速度提高至
    一个偏置条件仅需20s

  • 应用广泛

    MOSFET, SOI, FinFET, TFT, HV/LDMOS, BJT/HBT, JFET, Diode, Resistor, Packaged IC等器件

  • 并行测试

    支持高精度、高测试吞吐率
    并行测试

  • 集成化架构

    硬件架构硬件架构全新升级
    提升系统集成性

  • 易于操作

    配置触摸屏
    直观显示，易于操作

产品应用

  • 芯片制造工艺研发、
    质量评估、品质监控

  • 半导体器件
    SPICE模型开发

  • 电路设计
    性能优化

  • 半导体物理和
    材料研究

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