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9813DXC

先进低频噪声测试系统

低频噪声测试 1/f & RTN噪声 高精度宽带测试

9813DXC是一款精准高效、可靠便捷的先进低频噪声分析平台，为半导体行业探索研究新领域、优化先进工艺制程、建模验证设计和评估电路性能等，提供了从频域到时域完整的噪声测试及分析解决方案，可以满足各种不同工艺平台下新材料新器件和集成电路低频噪声测试的需求。

  • 支持闪烁噪声（1/f噪声）和随机电报噪声（RTN或RTS）等高精度高速度频谱分析和测量；

  • 高电压、高电流、高阻抗测量范围，广泛适用于各类材料器件和电路在广泛的工作条件下的噪声测试应用；

  • 晶圆级噪声测试精度和带宽，噪声测试电流精度低至10-27A²/Hz

  • 强大的数据分析和管理能力，内置丰富的测试应用库，操作便捷，直观易用；

  • 支持并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式，大幅提高测试效率和吞吐量。

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产品亮点

  • 高精度

    最高DC电流精度：10pA
    系统噪声电流精度：<10-27A2/Hz

  • 高速度

    典型噪声测试速度提高至
    一个偏置条件仅需20s

  • 应用广泛

    MOSFET, SOI, FinFET, TFT, HV/LDMOS, BJT/HBT, JFET, Diode, Resistor, Packaged IC等器件

  • 并行测试

    支持高精度、高测试吞吐率
    并行测试

  • 集成化架构

    硬件架构硬件架构全新升级
    提升系统集成性

  • 易于操作

    配置触摸屏
    直观显示，易于操作

产品应用

  • 芯片制造工艺研发、
    质量评估、品质监控

  • 半导体器件
    SPICE模型开发

  • 电路设计
    性能优化

  • 半导体物理和
    材料研究

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