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FS-Pro

半导体参数测试系统

参数测试 可靠性测试 快速脉冲测试

FS-Pro半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备。

  • 在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速波形发生与釆集以及低频噪声测试能力，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。

  • 全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦9812系列噪声测试系统无缝集成。

  • 釆用工业通用的PXI模块化硬件架构，系统配置灵活，扩展性强。

  • 内置专业测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能。

  • LabExpress软件同时支持自动化量测和并行量测，可进一步提升测试效率。

  • 广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域。

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产品亮点

  • 一体化设备

    单机可采集高精度IV、CV、脉冲IV
    高速波形和瞬态IV采样及1/f噪声

  • 功能强大

    宽电压电流输出范围、高精度
    支持高速采样时域信号采集和任意线性波形生成

  • 广受认可

    被众多科研院所、芯片设计公司和代工厂、
    IDM公司釆用，目前已有国内外百余家客户

  • 模块化架构

    支持灵活、可扩展的
    测试配置

  • 简单易用

    内置专业LabExpress测量控制分析软件
    无需复杂编程可实现数据测量设置、执行和数据分析

  • 源表

    可用作981X系列内部SMU模块
    无缝集成到981X系列噪声测试系统

产品应用

  • 工艺制程研发与
    器件参数测试

  • 半导体器件
    可靠性测试

  • 半导体器件
    超短脉冲测试

  • 非易失性
    存储器测试

  • 光电器件和
    微电子机械系统测试

  • 二维材料
    器件测试

  • 金属材料
    测试

  • 新型先进材料
    与器件测试

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