概伦电子发布新一代噪声测试系统，树立行业新标杆
2016-12-29
中国 北京，2016年11月29日，集成电路纳米级器件建模和千兆级电路仿真的厂商概伦电子发布了新一代低频噪声测试系统9812DXTM，刷新了在噪声测量速度、系统精度和单一系统所支持的噪声测试条件和覆盖器件范围等方面的业界新标准。
作为“黄金标准”测试系统9812B和9812D的改进版本，9812DX为先进半导体工艺开发、器件建模和高端电路设计提供了快速和完整的低频噪声测试和分析解决方案，面对先进工艺节点下噪声测试数量“爆炸式”增长的挑战，可以满足各种不同工艺平台下半导体器件和集成电路低频噪声测试的需求。
与9812D相比，9812DX的系统精度提高了超过十倍，噪声测试速度提升了3~10倍以上，并支持更宽的测试条件和更为全面的待测器件种类。同时，9812DX提升了系统支持的电压范围至最高200V，并可以支持更低的电流至0.1nA以下。
概伦电子董事长兼总裁刘志宏博士说：“9812DX是技术上的一次重大突破，通过其硬件指标、系统性能和噪声测试能力，进一步加强了我们在全球1/f噪声测试领域的地位，并确保了我们的解决方案可以满足当前和未来先进工艺开发和高端集成电路设计的需求。”
测试能力
9812DX提供了晶圆级噪声测试精度和带宽，用户可以在0.03Hz-10MHz的频率范围内用9812DX来测量超低电流如0.1nA以下的低频噪声，从而满足集成电路设计中器件偏置在弱反型区或光电二极管和图像传感器暗电流的噪声测量要求。
另外，9812DX可以支持高达200V的器件偏置和全面的测试条件和待测器件种类，如体硅MOSFET、FinFET、FD-SOI、LDMOS、BJT、各种电阻（阻值范围在10到10M欧姆之间的电阻和压控电阻）、二极管（如光电、激光和齐纳二极管）、传感器以及封装集成电路等。
9812DX是市面上能够同时支持高阻抗和低阻抗器件的高精度噪声测试的系统，以单一系统支持完整的工艺和器件类型，包括16纳米、14纳米到10纳米和7纳米等先进工艺节点。
较快的测试系统
通过改进硬件架构的设计和提升软件算法的执行效率，9812DX刷新了晶圆级低频噪声测试速度的记录，其典型噪声测试速度在9812D的基础上提升了3~10倍以上，可以在10秒内完成单一偏置条件的测试，从而帮助用户在最短的时间内获得精确的测试数据，满足先进工艺开发中的工艺质量监控、工艺的随机变化分析和高端集成电路设计中大量噪声数据测试的需求。
概伦电子同时提供更高测试带宽的并行噪声测试系统M9800，与9812DX相比，可以在一台晶圆探针台上实现2-4倍的测试带宽的提升，满足更高端的测试要求。
“黄金标准”的噪声测试系统
概伦电子噪声测试系统9812B，及其前身9812A和9603系列，已被众多半导体工艺和研究机构所采用，被公认为业界的“黄金标准”。其于2013年推出的换代产品9812D也已被众多半导体代工厂、IDM公司和无晶圆集成电路设计公司作为标准噪声测试系统所采用，应用于众多先进工艺节点的技术开发和集成电路设计。
